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小型磁控射頻濺射鍍膜儀是一款小型臺(tái)式單靶等離子濺射儀（射頻磁控型），配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導(dǎo)電薄膜的探索，它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。
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