爐體結構

• 爐體由4個小管式爐組成，采用氧化鋁爐管，尺寸為25 OD x 22 ID x 460 L, mm 
• 每個加熱模塊都由獨立的溫控系統控制，zui高溫度可達1700℃
• 快速密封法蘭，安裝有機械真空壓力表，進氣端安裝有浮子流量計，樣品可在真空或氣氛保護環境下進行熱處理
• 可同時放入4個樣品，在不同溫度下進行熱處理
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加熱元件

硅鉬棒

工作溫度&恒溫區

• 連續工作溫度1600°C
• zui高工作溫度 1700°C (< 1 hrs)
• 恒溫區:  30mm(+/- 1°C )，60mm(+/- 5°C)

爐管

• 高純氧化鋁爐管：Φ25X L 460 mm，4根
• 4個浮子流量計
• 快速連接法蘭，KF25真空接口
• 真空度：10^-5 torr（采用分子泵）
• 有一真空泵接口（KF25）,可在本公司購買各種真空泵
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溫度控制

• 采用觸摸屏設置溫度程序，帶有超溫和斷偶保護
• 4個溫區分別由4個獨立的溫控系統控制
• 4根B型熱電偶
• 可用電腦設置和顯示溫度程序

zui高加熱速率

10°C/ min

控溫精度

+/- 1°C

淬火（可選）

• 此管式爐可升級為立式淬火爐（加上旋轉機構和淬火劑罐）
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功率，工作電壓

6 KW, 208 - 240V單相,  50/60Hz 

質量認證

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• CE認證
• 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認證
• 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
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產品尺寸

• 1000 L x 650 W x 640  H, mm 
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一年質保期，終生維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件）

警告 & 應用注意

• 此管式爐，只可在真空或常壓狀態使用，爐管內的相對氣壓不可大于0.02MPa
• 進氣流量<200 SCCM ( 200ml/min)
• 向爐管內通氣的氣瓶上必須安裝雙級減壓閥（可在本公司購買）
• 可選購本公司的供氣系統，可用于進行CVD實驗