PECVD管式爐

簡要描述：OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源，一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD 系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索，此套系統極為理想。

產品型號：-OTF-1200X-50-PE-S
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-02-10
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CVD、PECVD設備

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詳細介紹

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源，一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD 系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索，此套系統極為理想。

特征：

1、與普通CVD相比可以在低溫環境下進行氣相沉積實驗

2、對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制

3、通過工藝調節來控制化學計量

4、能夠廣泛地用于各種材料沉積，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.

技術參數

開啟式管式爐	輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW zui高工作溫度1200℃（小于1小時）連續使用溫度1100℃ 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL 可設置30段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護加熱區長度為200mm,恒溫區長度為60mm(+/-1°C) （點擊圖片查看詳細資料）
等離子體射頻電源	輸出功率: 5 -500W可調穩定性為+/-1% 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩定性±0.005% zui大反向功率: 200W max 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極噪聲<50 dB. 冷卻方式：空氣冷卻輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
真空法蘭和接頭	真空法蘭采用304不銹鋼制作左端法蘭上安裝有防腐型數字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。右端法蘭設計為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個KF25卡箍儀器中所配的數字真空計，可以不用因使用氣體的不同而進行校正，同時還具有防腐功能（請點擊圖片查看詳細介紹）
真空泵	AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2L/s 與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達到10-2 torr 進氣端帶有儲氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴散到空氣中，保護環境和人體健康）
產品尺寸和重量	外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) 凈重: 160 lbs
可選配置	請點擊查看下面的混氣及氣液混合系統防腐型小型三路浮子混氣系統精密氣液混合系統三路質子混氣系統
質保期	一年質保期，終生維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）
質量認證	CE Certified